非接触式流量传感器和气泡检测器

非接触式流量传感器和气泡检测器
在半导体行业，sentasy的紧凑型超声波传感器在晶圆制造中发挥着重要作用。大量的磨料、粘合剂、腐蚀性和高纯度液体用于各种湿法工艺。传感器具有巨大的优势，即它们的测量是非侵入性和非侵入性的，因此非常适合流量测量和气泡检测。

半导体行业的流量测量
如果清洁溶液的剂量过低或过高，则需要额外的资源，因为必须重复清洁过程。在*坏的情况下，要清洗的半导体晶片变得无法使用，结果是价值大幅下降。因此，准确的流量测量对于有效利用生产资源至关重要。

半导体行业的气泡检测
关键工艺流程中气泡的存在会对半导体晶圆制造产生深远的影响。使用光刻胶时，气泡的出现会导致晶圆缺陷；使用工艺冷却水会导致生产过程中断。因此，及时检测气泡对于实现生产目标至关重要。

半导体行业的流量传感器和气泡检测器：应用领域
晶圆清洗设备、光刻设备、搅拌站、化学品供应系统、泥浆线

非接触式测量的优势
1、非接触和无污染的过程监控
2、可用于多种媒体
3、轻松插入软管
4、轻松改造系统
5、更换传感器时无需停机
6、无泄漏风险
7、无磨损
8、提高植物的生产力和更可靠的生产力导致产量增加