光栅尺传感器的组成结构与应用领域

　　光栅尺传感器的组成结构与应用领域

　　在一百多年前，人们就开始利用光栅的衍射现象， 把光栅应用于光谱分析、测定光波的波长等方面，本世纪50年代，人们利用光栅莫尔条纹现象，把光栅尺作为测量元件，开始应用于机床和计算仪器上。

　　物理光栅: 利用光的衍射现象分析光谱、测定波长。

　　计量光栅: 利用光的莫尔条纹现象测量精密位移。

　　1950年德国海德汉Heidenhain首创DIADUR复制工艺， 也就是在玻璃基板上蒸发镀铬的光刻复制工艺，这才能制造高精度、价廉的光栅刻度尺，光栅计量仪器才能为用户所接受，进入商品市场。

　　光栅在栅式测量系统中的占有率已超过80%，光栅长度测量系统的分辨力已覆盖微米级、亚微米级和纳米级，测量速度从60m/min，到480m/min。 测量长度从1m、3m达到30m和*m。

　　光栅尺传感器的组成

　　光栅尺传感器由光源、透镜、光栅副和光电接受元件组成。

• 光栅副是光栅传感器的主要部分。

• 主光栅(标尺光栅)

• 指示光栅

• 标尺光栅的有效长度决定了传感器的有效测量长度和范围。

　　光栅尺传感器的应用领域

　　光栅尺传感器精度高，测量范围大，易于实现自动化和数字化，*应用于长度计、数控机床、机床行业工厂自动化、三坐标测量机、精密转台、电机行业、电子制造设备、印刷行业、造纸行业、水利行业、纺织行业、天文望远镜、航空航天和桥梁健康检测系统。